\u3000\u30 Beijing Jingyeda Technology Co.Ltd(003005) 67 Wuhan Jingce Electronic Group Co.Ltd(300567) )
事件: Wuhan Jingce Electronic Group Co.Ltd(300567) 公衆号によると、孫公司上海精積微は3月11日にBFI 100型設備を検査し、その週に2台のこの型番設備の注文を獲得したと発表した。この型番装置は主に65 nm−180 nmの半導体ラインプロセスモニタリングに用いられる。初の設備は今年10月に出荷される。
わずか3ヶ月で再び重大な突破を得て、中国の空白を埋めた。今回のBFI 100型明場検査設備原型機は2回の顧客サンプルテストを経て、検出された欠陥は上海精密測定半導体が自主的に開発したeViewTM 1000型Review SEM設備を用いて一つ一つ確認し、検査の正確性は顧客の高度な認可を得た。昨年12月、同社は膜厚検出、電子ビーム検出、OCDなどの半導体検出分野で進展を遂げたが、今回、明場検出分野で再び突破し、中国の空白を埋め、数年の高強度投入を経て、成果転化期に入ったことを明らかにした。
明場検査設備「小光刻機」、海外独占を打破。明場検出装置は欠陥検出類の装置に属し、一般的に図形ウエハの欠陥検出に用いられ、高品質の光学撮像による検出寸法が光学回折限界よりはるかに小さい欠陥は、光学レンズの加工と設置精度、運動制御精度、照明光源の輝度、画像収集ノイズの抑制、データ処理能力などに極めて高い要求がある。往々にして同等のプロセスノードリソグラフィ機の厳しい技術要求に近い。半導体の前道検査に必要な主な設備として、明場検査の核心技術はずっと国外のいくつかの会社に独占されており、今回のBFI 100は中国初の量産型番の明場検査設備であり、お客様がこの分野でより高い価格比の設備選択と応用サービスを得るのに役立つだろう。
ウエハ検出装置は第4の半導体装置であり、国産代替が必要である。Semiが2021年12月14日に発表した年末報告データによると、2021年の半導体装置の総売上高は1030億ドルに達し、そのうち半導体試験装置の市場規模は29.6%から78億ドルに増加する。2020年中国半導体設備市場は世界市場規模の26.3%を占め、2021年にこの割合が変わらないと仮定すると、その年の中国半導体試験設備市場規模は20.5億ドルで、約130.5億元で、エッチング、フォトリソグラフィー、CVD設備に次いで、価値量が4番目に大きい半導体設備であると予想されている。ウエハ検査設備は「超多強」競争構造であり、米国KLA Tencorは世界の52%以上の市場シェアを占め、半導体設備の国産代替が避けられない障害であり、会社は連続的に重要な設備を突破し、国産代替の重任を担うことが期待されている。
投資提案:会社は中国の希少な検査設備企業として、半導体設備の国産化の主力軍であり、率先して中国のウエハ線建設の波を受益する見込みである。また、同社のディスプレイパネル検出装置、リチウム電気設備も急速に増加している。同社の21/22/23年の純利益は2.19億元、3.72億元、5.73億元と予想され、P/Eは60 x、35 x、23 xに対応し、半導体検出分野での希少性を考慮し、「推奨」格付けを維持している。
リスク提示:研究開発が予想に及ばないリスク、下流需要が予想に及ばないリスク、マクロ経済変動リスク
