Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.China(688012) タングステン充填CVD設備は段階的に進展し、フィルムのエッチングと堆積新製品は収穫期に入る。

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同社は2021年報を発表し、売上高は31.08億元で、前年同期比37%増加した。純利益は10.11億元で、前年同期比105%増加した。非純利益は3億2400万元で、前年同期比1291%増加した。粗利率は43.36%で、前年より5.69ポイント拡大した。

評価を支えるポイント

ICPエッチング交付キャビティ数が予想を超えた。21年間の製品出荷キャビティの数は491キャビティで、前年同期比66.4%増加した。このうち、CCPエッチング機は298室を出荷し、前年同期比40%増加した。ICPエッチング機は134キャビティを出荷し、前年同期比235%増加し、突破的な進展を遂げた。MOCVDデバイスの販売については、同社が昨年発表したMiniLEDMOCVDデバイスPrismoUniMaxの年末注文が100室を超え、今年3月末までに累計180室を超えた。

エッチング設備は急速に成長し、昨年の総注文は2倍に増えた。会社は21年に売上高が前年同期比37%増加し、成長率は前の2年より大幅に向上した。このうちエッチング設備の収入は20.04億元で、64%を占め、前年同期比55%増加した。MOCVD設備の収入は5.03億元で、36%を占め、前年同期比1.53%増加した。同社の21年の新規受注額は前年同期比90.5%増の41.3億元に達し、2022年の収入が引き続き高い成長傾向を維持することを保障している。

製品構造が最適化され、利益能力が大幅に向上した。昨年、専用設備の粗利率は4.88ポイント増の42.20%に達し、そのうちMOCVD設備の粗利率は18.65ポイント増の33.77%に大幅に上昇した。エッチング装置は依然として44.32%の高いレベルを維持している。同時に、利益能力の高いエッチング収入の比重は、昨年より7ポイント上昇して64%に達し、会社の収入構造は明らかに改善された。

CCPプラズマエッチングは先進的な5ナノチップ生産ラインと次世代の試作ラインに入った。5ナノメートルのエッチング設備の開発に成功し、先進的な論理チップメーカーでの評価を完了し、販売を実現した。3ナノエッチング機Alpha原型機の設計、製造、テスト及び初歩的なプロセス開発と評価を完成した。

同社のICPエッチング設備は徐々に成熟している。Primonanova®ICPエッチング製品はすでに15社以上の顧客の生産ラインで100以上のICPエッチングプロセスの検証を行っている。2021年3月、同社が開発・発売した高出力の二重反応台ICPエッチング設備PrimoTwin-star®エッチング設備は、すでに中国をリードする顧客の生産ラインで認証を完了し、より多くの中国の顧客から注文を受けている。

科学技術の最前線を把握し、ICプロセス設備製品プラットフォームはフィルム図形化ツールからフィルム堆積とエピタキシャル成長設備に放射される。具体的には、フィルムエッチング:CCP、ICP、ALE、フィルム堆積:LPCVD、EPI、ALD;第3世代半導体:シリコン系窒素化ガリウム及び炭化ケイ素パワー素子専用のエピタキシャル装置。

(1)タングステン充填LPCVD装置が段階的に進展した。金属相互接続に応用するCVDタングステンプロセス設備の能力はすでに取引先の技術検証の需要を満たすことができて、製品は肝心な取引先とドッキングして検証しています。金属タングステンLPCVD装置に基づいて、同社はCVDとALD装置をさらに開発している。

(2)SiGeEpi設備は設計案を完成し、試作機の製造段階に入る。2021年にEPI設備研究開発チームを設立し、基礎研究と肝心な顧客の技術フィードバックを採用することによって、自主知的財産権と革新的な前処理と外延反応室の設計案を形成した。現在、同社のEPI設備は、お客様の先進的なプロセスにおけるSiGeエピタキシャル成長プロセスの電気的および信頼性のニーズを満たすために、試作機の設計、製造およびデバッグ段階に入っています。

(3)パワーデバイス応用のための第3世代半導体装置市場を積極的に配置する。GaNパワーデバイスの量産応用のMOCVD設備を開発し、現在すでに中国外のリード顧客に生産検証を提供している。炭化ケイ素パワーデバイスのエピタキシャル生産設備の開発に応用し、会社の製品ラインをさらに豊かにする。

収益予測および評価

会社のエッチング設備、特にICPエッチング21年の注文が大幅に増加し、MOCVD設備の注文も予想以上に増加したことを考慮して、私たちは22-24年の純利益を11.26/12.90/15.17億元に引き上げ、「購入」の格付けを維持した。

評価が直面する主なリスク

ウエハ工場の拡張は予想に及ばず、部品不足で設備の納品が遅れ、国際地縁政治摩擦が不確定になった。

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